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R-tep™Particle Detector

실시간 설비 표면 Particle Detector

청정 공간 작업 중 부유 입자의 자유 낙하 또는 공기

흐름에 의하여 설비 또는 제품 인접 표면에 낙하 입자를

Monitoring 하는 이물 관리용 Real Time Particle Detector.

(국내 특허 획득, 해외 3개국 Issue)

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초소형 센서 : 80mm x 25mm x 41mm

Particle 형상 정보 제공 (Image Viewer기능)

2

가장 근접한 제품 불량율 관리 Traceability

현존 이물 측정기중 제품 불량을 유발 요인과 가장 근접한 표면 이물 검출(자연 낙하성 Particle 검출)

3

높은 Detection 효율

불규칙 형상을, 정확히 측정하기 위한 Size Classification Processing 기술

4

편리한 HMI Interface

Touch 화면 조작, 측정 시간, 주기, 반복 횟수 등을 자유롭게 설정 (최소 5초~ 1440분 설정가능) 이물 Image 자동기록, Particle 개수 자동기록 D-base Excel호환 CSV File.

5

피 측정 설비 Interface & Alarm 설정 기능

검출된 입자의 크기별로, 설정치 이상 측정 시 Alarm을 송출 기능과 설비와 연결 Interlock 기능을 제공

(Cleaning 등, 예방 정비 정보 알림)

6

성분 분석용 시료로 활용

누적 이물 시편을 EDX-XRF 등의 분석 설비를 이용,

성분 분석 시료로 활용

7

Network System

청정 작업을 요하는 ⑴클린룸, ⑵자동 생산 설비 내 다수의

R-tep을 이용한 실시간 Particle 감시 관리 Syetem 구축.

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